在刚刚结束的两会期间,“新质生产力”成为热议话题。映射到半导体领域,半导体产业作为现代科技的重要支柱,是发展新质生产力的重要驱动因素。在政策驱动以及市场需求升级的大背景下,半导体产业迎来崭新的发展机遇,同时也面临诸多挑战。
在半导体制造行业中,半导体的生产工序十分繁复,包括光刻、刻蚀、离子注入、薄膜沉积、清洗等工艺流程,涉及到的特种气体约50余种,不乏有毒有害气体如PH3、HF、AsH3等,一旦泄漏将对人员和财产造成不可估量的损失,有毒气体探测成为半导体行业安全生产的挑战之一。
先进探测,安全护航
半导体制造工厂通常设置有生产区、仓储区、动力辅助区、气体站等,在超高纯特气管道系统的输送以及存储过程中、半导体的生产加工以及尾气排放等流程中,均应密切监测有毒气体浓度,确保人员财产安全。
HONEYWELL霍尼韦尔,Midas®气体探测器
Midas
系列是适用于半导体工业及其它一般工业所使用的有毒气体以及可燃气体的高灵敏、高可靠度的气体探测器。
Midas
系列基于电化学原理,ppm百万分之一级别气体侦测,广泛覆盖40多种气体,最长可达30米采样距离。它包含单点、四合一和防爆型多种型号气体探测器,拥有较长的免校准周期、灵活的通讯模式、操作轻松、维护便捷,大大降低了气体探测所需要的成本。
为了满足不同场景的检测需求,霍尼韦尔拥有丰富的产品线,通过先进技术和设备精准布局,可以在各个阶段提供出色的气体安全保护,来看看霍尼韦尔有哪些气体探测器吧!
作为气体探测技术的领先者
霍尼韦尔将携以上气体探测产品亮相
于3月20日在上海新国际博览中心举办的
SEMICON/FPD China 2024展会
诚邀您莅临霍尼韦尔展台
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