Entegris应特格纯化器， CE2500KFSK4R ，GPUS2500FAP04R00CA

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气体净化器
有多种材料可用于将气体净化至万亿分之一 (ppt) 水平。
我们的创新气体微污染控制产品采用先进技术制造，以高可靠性、低成本和高性能有效去除气体污染物。独立的气体净化系统提供具有先进控制的原位再生，以满足您的要求。我们广泛的气体净化器和环保系统产品组合旨在提高气体浓度、使用寿命和出口纯度。
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GateKeeper   GPU 气体净化器
我们的 GPU 气体净化器以各种流速有效去除卤化气体、氢化物、活性氧化物、饱和和不饱和碳氢化合物、碳氟化合物和氯烃。
气体净化
其他气体
 
氙气（Xe）
 
氦 (He)
 
氩气 (AR)

 Aeronex  Z2 系列气体净化系统
Aeronex 气体净化系统 (AGPS) Z2 系列是 Entegris 最新的连续服务散装气体净化系统。
气体净化
极度清洁干燥空气 (XCDA   ) 

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GateKeeper  Z3 系列气体净化系统
GateKeeper 气体净化系统 (GPS) Z3 系列用于持续高流量、使用点净化的 XCDA（极清洁干燥空气）净化气体，拥有成本低
气体净化
极度清洁干燥空气 (XCDA  )
GateKeeper  EX 系列气体净化系统
GateKeeper 气体净化系统 (GPS) EX 系列用于持续高流量、使用点纯化的 H 2（氢气）吹扫气体，拥有成本低
气体净化
氢 (H 2 )


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GateKeeper  HX 系列气体净化系统
GateKeeper HX 系列 - 净化气体：氢气 (H2)、氮气 (N2) 或氩气 (Ar)。持续流动、使用点纯化氢气、氮气或氩气，拥有成本低。
气体净化
氩气 (Ar)
 
氢 (H 2 )
 
氧气 (O 2 )

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GateKeeper  DX 系列气体净化系统
GateKeeper 气体净化系统 (GPS) DX 系列是 Entegris 最先进的连续服务气体净化系统，为气体净化带来先进技术。它为半导体制造商提供了一种创新的解决方案，可实现更高的晶圆产量和更低的拥有成本。
气体净化
二氧化碳 (CO 2 )

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GateKeeper  DZ 系列气体净化系统
以较低的拥有成本持续提供高流量、使用点的纯化 CO2 气体
气体净化
二氧化碳 (CO 2 )

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GateKeeper  SX 系列气体净化系统
GateKeeper 气体净化系统 (GPS) SX 系列以较低的拥有成本提供连续流动的使用点净化 NH3 气体
气体净化
氨（NH 3）

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GateKeeper  Z2 系列气体净化系统
GateKeeper Z2 系列气体净化系统 (GPS) 用于持续高流量、使用点净化的 XCDA（极清洁干燥空气）净化气体，拥有成本低
气体净化
极度清洁干燥空气 (XCDA  )
在线 PTFE 气体过滤器
我们的气体过滤器提供卓越的微粒过滤，以最大限度地减少压降并最大限度地延长过滤器的使用寿命。从 Wafergard、Linegard、Unigard 和 Gasketgard 在线气体过滤器中进行选择。

在线镍气过滤器
Entegris 的超纯镍过滤器是用于高压、高温应用的最清洁、最高效的气体过滤产品。

在线不锈钢气体过滤器
Entegris 提供多种过滤器，带有不锈钢膜和不锈钢外壳，专为高压和高温应用而设计。 

优质石墨组件
我们的石墨经过严格控制，可生产出具有均匀微观结构和强度、晶粒尺寸和硬度平衡的材料，从而为您的预期应用提供最佳性能。 

石墨等级
我们提供范围广泛的石墨材料以及后处理和加工能力，以满足数据存储应用的苛刻要求。您可以根据晶粒尺寸（1、5 和 10 微米）为您的应用选择合适的石墨，所有等级都以散装形式出售或作为特定应用的定制加工组件出售。