美国entegris英特格,Wafergard®GTL在线气体过滤器WGFG01DS0
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Wafergard
GTL在线气体过滤器以高达60 slpm的流速可靠地从惰性气体中去除颗粒。
提供惰性气体的高效,低成本,使用点过滤
> 99.9999999%去除直径大于0.003µm的所有颗粒
产品规格
材料:膜:疏水性含氟聚合物PTFE
支架,外壳:聚砜
推荐流速:60 slpm
连接方式:Rc1⁄4(PT1⁄4母头),1⁄4” NPT母头
膜面积:25厘米2(3.9英寸2)
颗粒保留:> 99.9999999%的直径大于0.003μm的所有颗粒的去除率(在具穿透性的粒径条件下验证)
运行条件:大工作压力:20°C时为0.41 MPa(4.1 bar,56.6 psid)
大前进压差:20°C时为0.41 MPa(4.1 bar,56.6 psid)
大反向差压:20°C时为0.03 MPa(0.3 bar,4.35 psid)
高工作温度:50°C(122°F)
尺寸图直径:25毫米(0.98英寸)
长度:101毫米(4.0英寸)