目标气体 化学式 传感器盒部件编号 范围 (ppm) 推荐颠簸测试气体浓度
(ppm)
流率
(cc/min)
最大时间
氨 NH3 MIDAS-S-NH3 100 氨 50 500 120
砷化三氢 AsH3 MIDAS-S-ASH 0.2 磷化氢 0.5 500 120
三氯化硼 BCl3 MIDAS-S-HCl 8 氯 5 500 120
三氟化硼 BF3 MIDAS-S-HFX 8 氯 5 500 120
溴 Br2 MIDAS-S-BR2 0.4 氯 低 500 120
二氧化碳 CO2 MIDAS-S-CO2 2% v
二氧化碳 2% v 500 120
一氧化碳 CO MIDAS-S-COX 100 一氧化碳 100 500 120
氯 Cl2 MIDAS-S-HAL 2 氯 2 500 120
二氧化氯 ClO2 MIDAS-S-BR2 0.4 氯 低 500 120
三氟化氯 ClF3 MIDAS-S-SF4 0.8 氯 低 500 120
硼乙烷 B2H6 MIDAS-S-HYD 0.4 磷化氢 0.5 500 120
二氯甲硅烷 SH2Cl2 MIDAS-S-HCl 10 氯 5 500 120
乙硅烷 Si2 MIDAS-S-SHX 20 硫化氢 < 25 500 120
氟 F2 MIDAS-S-HAL 4 氯 5 500 120
锗烷 GeH4 MIDAS-S-HYD 0.8 磷化氢 0.5 500 120
氢 H2(ppm) MIDAS-S-H2X 1,000 氢 1000 500 120
氢 H2(%LEL) MIDAS-S-LEL 100% LEL 甲烷 500 120
目标气体 化学式 传感器盒部件编
号
范围 (ppm) 推荐颠簸测试气体浓度 (ppm) 流率
(cc/min)
最大时间
溴化氢 HBr MIDAS-S-HCl 8 氯 5 500 120
氯化氢 HCl MIDAS-S-HCl 8 氯 5 500 120
氰化氢 HCN MIDAS-S-HCN 20 二氧化硫 15 500 120
氟化氢 HF MIDAS-S-HFX 12 氯 5 500 120
硒化氢 H2Se MIDAS-S-HSE 0.4 硫化氢 低 500 120
硫化氢 H2S MIDAS-S-H2S 40 硫化氢 25 500 120
甲烷 CH4 MIDAS-S-LEL 100% LEL 甲烷 500 120
一氧化氮 NO MIDAS-S-NOX 100 一氧化氮 50 500 120
二氧化氮 NO2 MIDAS-S-NO2 12 二氧化氮 10 500 120
三氟化氮 NF3 MIDAS-S-HFX 40 氯 5 500 120
氧气 O2 MIDAS-S-O2X 25% v 空气 500 120
臭氧 O3 MIDAS-S-O3X 0.4 氯 低 500 120
磷化氢 PH3 MIDAS-S-PH3 1 磷化氢 0.5 500 120
氯氧化磷 POCl3 MIDAS-S-POC 0.8 氯 低 500 120
硅烷 SiH4 MIADS-S-SHX 2 硫化氢 < 25 500 120
硅烷 SiH4 MIDAS-S-SHL 20 硫化氢 < 25 500 120
二氧化硫 SO2 MIDAS-S-SO2 8 二氧化硫 8 500 120
四氟化硫 SF4 MIDAS-S-SF4 0.8 氯 Low 500 120
TEOS TEOS MIDAS-S-TEO 40 一氧化碳 100 500 120
六氟化钨 WF6 MIDAS-S-HFX 12 氯 5 500 120