End of line particulate filter--780248
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MIDAS
气体探测器的操作说明和快速启动指南– 英语MIDAS-A-001
线端微粒过滤器 0780248
气体名称 化学式 范围 传感器盒部件编
号
校准气体 推荐的颠簸测试气
体
氨 NH3 0-100 ppm MIDAS-S-NH3 氨 氨
砷化三氢 AsH3 0-0.2 ppm MI DAS-S-ASH 砷化三氢 磷化氢
三氯化硼 BCl3 0-8.0 ppm MIDAS-S-HCL 氯化氢 氯
三氟化硼 BF3 0-8.0 ppm MIDAS-S-HFX 氟化氢 氯
溴 Br2 0-0.4 ppm MIDAS-S-BR2 氯 氯
二氧化碳 CO2 0-2.0% vol MIDAS-S-CO2 二氧化碳 二氧化碳
一氧化碳 CO 0-100 ppm MIDAS-S-COX 一氧化碳 一氧化碳
氯 Cl2 0-2.0 ppm MI DAS-S-HAL 氯 氯
二氧化氯 ClO2 0-0.4 ppm MIDAS-S-BR2 氯 氯
三氟化氯 ClF3 0-0.8 ppm MIDAS-S-SF4 氟化氢 氯
硼乙烷 B2 0-0.4 ppm MIDAS-S-HYD 硼乙烷 磷化氢
二氯甲硅烷 H2SiCl2 0-8.0 ppm MIDAS-S-HCL 氯化氢 氯
乙硅烷 Si2H6 0-20 ppm MIDAS-S-SHX 硅烷 硫化氢
氟 F2 0-4.0 ppm MI DAS-S-HAL 氯 氯
锗烷 GeH4 0-0.8 ppm MIDAS-S-HYD Diborane Phosphine
氢 (% LEL) H2 0-100% LEL1 MIDAS-S-LEL 氢 氢
氢(ppm) H2 0-1000 ppm MIDAS-S-H2X 氢 氢
溴化氢 HBr 0-8.0 ppm MIDAS-S-HCL 氯化氢 氯
氯化氢 HCl 0-8.0 ppm MIDAS-S-HCL 氯化氢 氯
氰化氢 HCN 0-20 ppm MIDAS-S-HCN 氰化氢 一氧化碳
氟化氢 HF 0-12 ppm MIDAS-S-HFX 氟化氢 氯
硒化氢 H2Se 0-0.4 ppm MIDAS-S-HSE 硅烷 硫化氢
硫化氢 H2S 0-40 ppm MIDAS-S-H2S 硫化氢 硫化氢
甲烷(% LEL) CH4 0-100% LEL1 MIDAS-S-LEL 氢 氢
二氧化氮 NO2 0-12 ppm MIDAS-S-NO2 二氧化氮 二氧化氮
一氧化氮 NO 0-100 ppm MIDAS-S-NOX 一氧化氮 一氧化氮
三氟化氮 NF3 0-40 ppm MIDAS-S-HFX 氟化氢 氯
氧气重组&不足 O2 0-25% vol MIDAS-S-O2X 氧气 空气
臭氧 O3 0-0.4 ppm MIDAS-S-O3X 臭氧 氯气
磷化氢 PH3 0-1.2 ppm MIDAS-S-PH3 磷化氢 磷化氢
氯氧化磷 POCl3 0-0.8 ppm MIDAS-S-POC 氯化氢 氯
硅烷 SiH4 0-20 ppm MIDAS-S-SHX 硅烷 硫化氢
硅烷(低级别) SiH4 0-2.0 ppm MIDAS-S-SHL 硅烷 硫化氢
二氧化硫 SO2 0-8.0 ppm MIDAS-S-SO2 二氧化硫 二氧化硫
四氟化硫 SF4 0-0.8 ppm MIDAS-S-SF4 氟化氢 氯
正硅酸乙酯 TEOS 0-40 ppm MIDAS-S-TEO TEOS 一氧化碳
六氟化钨 WF6 0-12 ppm MIDAS-S-HFX 氟化氢 氯
