SI2R15E05，SI2R20E08，WG2SS8RR2，英特格ENTEGRIS气体过滤器
SI2R15E05，SI2R20E08，WG2SS8RR2，英特格ENTEGRIS气体过滤器
SI2R15E05，SI2R20E08，WG2SS8RR2，英特格ENTEGRIS气体过滤器
当优先采用全不锈钢结构时， Wafergard 
II SF Micro XL 在线气体过滤器是高纯度气体系统的首选过滤器。
最先进的外壳组件通过最小化焊接面积消除了排气
全金属结构非常适合高温和动态压力应用
紧凑的尺寸和灵活的配件选择提供了极致的设计效率并最大限度地降低了工程成本
应用
Wafergard II SF Micro XL 在线气体过滤器应用
超高纯度气体管线
高温应用
新工厂建设
动压应用
惰性气体和活性气体
产品规格
材料 滤芯 不锈钢膜过滤器
住房 电抛光 VAR316L 不锈钢
下游清洁度 粒子 <0.03 颗粒/升 (<1 颗粒/立方英尺) >0.01 微米
挥发物 水分含量<10 ppb
移除评级 ≥0.0015微米
内部表面处理 ≤5.00 微英寸 Ra
氦气泄漏等级 合格的 2 x 10 -10大气压 立方厘米/秒
已测试 1 x 10 -9 大气压立方厘米/秒
最大工作条件 最大入口压力： 20 兆帕（200 巴；2900 磅/平方英寸）@ 20°C（68°F）
最大正向/反向压差： 1 兆帕（10 巴；150 磅/平方英寸）
最高工作温度： 460°C (860°F) @ 35 巴 (500 psi)
保修单 2 年
颗粒保留 去除所有颗粒物超过 99.9999999% (9 LRV)
流量等级 参考性能数据
零件编号
Wafergard II SF Micro XL 在线气体过滤器零件编号
零件编号 产品类型 配件类型 配件尺寸 长度
SI2R15E05 Wafergard II 垫圈密封，公 1/4” 84.1 毫米 (3.31")
SI2R19E07 Wafergard II 垫圈密封，母头 1/4” 50.8 毫米 (2.00")
SI2R20E08 Wafergard II 垫圈密封，公 1/4” 50.8 毫米 (2.00")
WG2SS8RR2 Wafergard垫圈密封，公 1/4” 84.1 毫米 (3.31")
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WGMXMBSS2 过滤器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 过滤器
ENTEGRIS LGMXFPSS3
ENTEGRIS WGMXMSRR4 过滤器
Entegris WG2FT1RR2 过滤器
ENTEGRIS WGFG01DS0 滤芯
ENTEGRIS SVEG01P01
ENTEGRIS SVTG01TQ1
ENTEGRIS SVTG02TQ1
ENTEGRIS WGPM0GGT2 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGT2 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 过滤器
Entegris WG3NS6RR2 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 过滤器
ENTEGRIS LGMXFPRR4
ENTEGRIS WGPMOGGT2 过滤器
ENTEGRIS WG3NS2RR4 过滤器
Entegris WG2FT1SS2 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
Entegris WG2FT1RR2 过滤器
entegris CTFG01TPE 滤芯
ENTEGRIS WGPMOGGT4 过滤器
ENTEGRIS WG2F02RR2
ENTEGRIS WG2F02RR2
Entegris WFRGD3 NF-30 3.3 IN LG WG3NS6RR2
ENTEGRIS WG3NS8RR2
ENTEGRIS WGPMOGGT2 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WG2F02RR2
ENTEGRIS WG2F02RR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 过滤器
ENTEGRIS CBUG0S0S1 过滤器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WG3NSMSL2 过滤器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 过滤器
ENTEGRIS WGMXMSRR2（无包装）
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS WGMXMSRR2