Wafergard® GT-Plus 在线气体过滤器，ENTEGRIS英特格WGFA21KP0现货

Wafergard® GT-Plus 在线气体过滤器，ENTEGRIS英特格WGFA21KP0现货

Wafergard® GT-Plus 在线气体过滤器，ENTEGRIS英特格WGFA21KP0现货

Wafergard® GT-Plus 在线气体过滤器，ENTEGRIS英特格WGFA21KP0现货

 Wafergard GT-Plus 在线气体过滤器

可靠地去除流速高达 30 slpm 的惰性气体中的颗粒。
提供高效、低成本的惰性气体使用点过滤
去除直径大于 0.015 µm 的所有颗粒，去除率 > 99.9999999%
应用
Wafergard GT-Plus 在线气体过滤器应用
低空气进气过滤器
晶圆传送系统
洁净干燥空气（CDA） 
产品规格
材料 膜： 疏水性氟聚合物 PTFE
  支架、外壳： 肺动脉高压
建议流量 30 slpm
連接 1/8"、1/4" 压缩密封
膜面积 12 厘米2（1.9 平方英寸）
颗粒保留 去除直径大于 0.0015 μm 的所有颗粒，去除率 >99.9999999%（以最易穿透的颗粒尺寸进行验证）
工作条件 最大工作压力： 20°C 时为 0.41 兆帕（4.1 巴，56.6 磅/平方英寸）
  最大正向压差： 20°C 时为 0.34 兆帕（3.4 巴，50.0 psid）
  最大反向压差： 20°C 时为 0.03 MPa（0.3 巴，4.35 psid）
  最高工作温度： 50°C（122°F）
方面 长度： 1/8" 密封：69 毫米 (2.7”)
1/4" 密封：71.5 毫米 (2.8”)
  直径： 21.5 毫米（0.85 英寸）
Wafergard GT-Plus 在线气体过滤器配件
JPMFJK001
6.34 毫米 (1/4") PFA 压缩套圈和螺母，用于 Wafertard GT-Plus 气体过滤器

零件编号
Wafergard GT-Plus 在线气体过滤器零件编号
零件编号 配件尺寸和类型 长度 选择选项
WGFG01KP0 1/8" 压缩密封 69.0 毫米 (2.7") 10 片装滤芯
WGFG01KP3 1/8" 压缩密封 69.0 毫米 (2.7") 3 件装过滤器
WGFG21KP0 1/4" 压缩密封 71.5 毫米 (2.8") 10 片装滤芯
WGFG21KP3 1/4" 压缩密封 71.5 毫米 (2.8") 3 件装过滤器