气体过滤净化
当涉及到空气，散装气体或规格气体的过滤和净化时，integris拥有专业知识，技术和解决方案，以满足您的需求
无论是使用点还是大量气体输送，在室内还是在晶圆上，在洁净室还是在工具上，integris都拥有悠久的历史，提供高性能的气体和空气净化和过滤产品，以满足您的需求。
有特色的象形图
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隐藏在显而易见的地方:提高气体纯度和减少晶圆片缺陷的预防性维护策略
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AMC过滤器
洁净室，扫描仪和工艺工具化学空气过滤器
气体过滤器
用镍、不锈钢和聚四氟乙烯膜技术控制气体过程中的污染
气体扩散器
快速排气到大气中，不增加颗粒到腔室
气体净化器
有各种各样的材料可以将气体净化到万亿分之一(ppt)的水平
PS14环境温度气体净化器
气体净化器室外外壳
气体过滤器
镍，不锈钢，合金22和聚四氟乙烯过滤器技术。
integris超纯气体过滤产品为超纯气体应用提供0.0015微米颗粒过滤。Wafergard®气体过滤器可实现更高的工艺气体吞吐量，同时减少整个气体箱的占地面积。
特色内容
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端到端气体过滤解决方案
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其他气体过滤器
Wafergard®GN气体过滤枪是一种易于使用的轻质POU(使用点)解决方案，用于控制气体污染。该滤波器是integris独家设计，可用于各种半导体工艺。
在线聚四氟乙烯气体过滤器
我们的气体过滤器提供卓越的微粒过滤，最大限度地减少压降，延长过滤器的使用寿命。选择Wafergard®和Linegard™在线气体过滤器。
在线不锈钢气体过滤器
integris的直列不锈钢气体过滤器专为高压和高温应用而设计。它们很容易安装，不需要更改设计。
在线镍气体过滤器
integris的超纯镍过滤器是高压、高温应用中最清洁、最高效的气体过滤产品。
表面安装气体过滤器
可选配不锈钢或镍过滤元件，Wafergard®气体过滤器提供终极的过程保护，卓越的耐腐蚀性，并与惰性气体，氢化物和反应性气体具有良好的兼容性。表面贴装设计减少了气体面板上的空间，减少了零件库存和变化。我们的表面安装气体过滤器组合包括C-Seal 1.125"和W-Seal 1.125"或1.5"格式。
气体过滤净化
当涉及到空气，散装气体或规格气体的过滤和净化时，integris拥有专业知识，技术和解决方案，以满足您的需求
无论是使用点还是大量气体输送，在室内还是在晶圆上，在洁净室还是在工具上，integris都拥有悠久的历史，提供高性能的气体和空气净化和过滤产品，以满足您的需求。
有特色的象形图
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隐藏在显而易见的地方:提高气体纯度和减少晶圆片缺陷的预防性维护策略
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AMC过滤器
洁净室，扫描仪和工艺工具化学空气过滤器
气体过滤器
用镍、不锈钢和聚四氟乙烯膜技术控制气体过程中的污染
气体扩散器
快速排气到大气中，不增加颗粒到腔室
气体净化器
有各种各样的材料可以将气体净化到万亿分之一(ppt)的水平
PS14环境温度气体净化器
气体净化器室外外壳
气体过滤器
镍，不锈钢，合金22和聚四氟乙烯过滤器技术。
integris超纯气体过滤产品为超纯气体应用提供0.0015微米颗粒过滤。Wafergard®气体过滤器可实现更高的工艺气体吞吐量，同时减少整个气体箱的占地面积。
特色内容
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端到端气体过滤解决方案
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其他气体过滤器
Wafergard®GN气体过滤枪是一种易于使用的轻质POU(使用点)解决方案，用于控制气体污染。该滤波器是integris独家设计，可用于各种半导体工艺。
在线聚四氟乙烯气体过滤器
我们的气体过滤器提供卓越的微粒过滤，最大限度地减少压降，延长过滤器的使用寿命。选择Wafergard®和Linegard™在线气体过滤器。
在线不锈钢气体过滤器
integris的直列不锈钢气体过滤器专为高压和高温应用而设计。它们很容易安装，不需要更改设计。
在线镍气体过滤器
integris的超纯镍过滤器是高压、高温应用中最清洁、最高效的气体过滤产品。
表面安装气体过滤器
可选配不锈钢或镍过滤元件，Wafergard®气体过滤器提供终极的过程保护，卓越的耐腐蚀性，并与惰性气体，氢化物和反应性气体具有良好的兼容性。表面贴装设计减少了气体面板上的空间，减少了零件库存和变化。我们的表面安装气体过滤器组合包括C-Seal 1.125"和W-Seal 1.125"或1.5"格式。
在线聚四氟乙烯气体过滤器
聚合物膜气体过滤器超纯颗粒去除在低温应用
我们的气体过滤器提供卓越的微粒过滤，最大限度地减少压降，延长过滤器的使用寿命。选择Wafergard®和Linegard™在线气体过滤器。
缩小选择范围
合适的大小
1/4”(7)
1/2 " (5)
3/8”(4)
1/2 " (1)
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配件类型
垫片密封(5)
压缩密封(4)
对接焊管(3)
男性录像机®(2)
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长度
112.7毫米(4.44")(2)
115.5毫米(4.55")(2)
117.9 mm (4.64")(2)
118.7 mm (4.67")(2)
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最大工作压力
0.41 MPa (4.1 bar(2))
56.6 psid) @ 20°C(2)
20mpa (200bar) (1)
20.7 MPa (207 bar(1))
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最大温度
50°C(122°F) (2)
120°C(248°F) (1)
120°C(248°F)惰性气体(1)
120°C(248°F) (1)
最大流量
30 slpm (2)
100 slpm (1)
120 slpm (1)
200 slpm (1)
查看更多
行业
数据存储(10)
平板显示(10)
领导(10)
半导体(10)
过程
大宗气体输送(9)
沉积(9)
干蚀刻(9)
光刻(8)
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展示10种产品
排序方式:
相关性
Wafergard®MAX HT在线气体过滤器
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Wafergard®MAX HT在线气体过滤器
在高温应用(高达200°C)中提供卓越的颗粒过滤
合适的大小
1/2 "
配件类型
垫片密封
长度
148.0 mm (5.82") 127.0 mm (5.00")
行业
半导体平板显示数据存储LED
waergard®MAX在线聚四氟乙烯气体过滤器
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waergard®MAX在线聚四氟乙烯气体过滤器
这些在线聚四氟乙烯气体过滤器与高纯度气体兼容，并在超纯气体应用以及一般氮气和CDA应用中提供卓越的颗粒过滤
合适的大小
1/4" 3/8" 1/2"
配件类型
VCR®Swagelok®对接焊管
长度
112.7毫米(4.44")117.9毫米(4.64")118.7毫米(4.67")127.0毫米(5.00")
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行业
半导体平板显示数据存储LED
waergard®MAX-1000在线聚四氟乙烯气体过滤器
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waergard®MAX-1000在线聚四氟乙烯气体过滤器
waergard®MAX-1000在线聚四氟乙烯气体过滤器为超纯气体应用提供卓越的颗粒过滤
合适的大小
1/2 "
配件类型
密封垫片密封(VCR®兼容)公入口/出口压缩密封(Swagelok®兼容)公入口/出口
长度
127.0 mm (5.00") 118.7 mm (4.67")
行业
半导体平板显示数据存储LED
Wafergard®II F