Gas Filtration and Purification
When it comes to filtration and purification of air, bulk gas or spec gas, Entegris has the expertise, the technology and the solution to meet your needsWhether for point of use or bulk gas delivery, in chamber or on wafer, in the cleanroom or on a tool, Entegris has a long history of providing high-performance gas and air purification and filtration products to meet your needs.
FEATURED PICTOGRAM
Hiding in Plain Sight: A Preventive Maintenance Strategy to Improve Gas Purity and Reduce Wafer Defects
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AMC FiltersCleanroom, scanner and process tool chemical air filters
Gas FiltersContamination control in gas processes with nickel, stainless steel and PTFE membrane technologies
Gas DiffusersRapid venting to atmosphere without adding particles to the chamber
Gas PurifiersA wide variety of materials are available to purify gas to parts-per-trillion (ppt) levels
PS14 Ambient Temperature Gas Purifiers
Gas Purifier Outdoor Enclosure
气体过滤净化
当涉及到空气，散装气体或规格气体的过滤和净化时，integris拥有专业知识，技术和解决方案，以满足您的需求
无论是使用点还是大量气体输送，在室内还是在晶圆上，在洁净室还是在工具上，integris都拥有悠久的历史，提供高性能的气体和空气净化和过滤产品，以满足您的需求。
有特色的象形图
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隐藏在显而易见的地方:提高气体纯度和减少晶圆片缺陷的预防性维护策略
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AMC过滤器
洁净室，扫描仪和工艺工具化学空气过滤器
气体过滤器
用镍、不锈钢和聚四氟乙烯膜技术控制气体过程中的污染
气体扩散器
快速排气到大气中，不增加颗粒到腔室
气体净化器
有各种各样的材料可以将气体净化到万亿分之一(ppt)的水平
PS14环境温度气体净化器
气体净化器室外外壳
Entegris获得美国芯片法案7500万美元补助
美国芯片材料、设备商Entegris（英特格）当地时间6月26日宣布，已经与美国政府签署初步协议，将依据《芯片法案》获得高达7500万美元资金，帮助在美国开发新工厂。
美国商务部长吉娜·雷蒙多在一份声明中表示，“我们不仅要把先进的芯片技术和工厂带到美国，还要支持那些使得领先制造成为可能的供应商。”
美国为寻求扩大本国半导体生产并吸引海外厂商，2022年批准了《芯片法案》，将通过总额高达527亿美元的研究和制造补贴来提高国内半导体产量。美国立法者还批准了750亿美元的政府贷款授权。
据美国商务部消息，Entegris项目第一阶段将制造支持液体过滤膜和前开式统一晶圆转运盒（FOUPS）的生产，后者是Entegris发明的专用容器，为英特尔、台积电、美光和格芯在内的顶级芯片制造商供货。
第二阶段，将支持先进液体过滤器、净化器和流体处理解决方案的生产。
Entegris（英特格）主营产品系列有：
设备的托盘
全面的IC封装交付系统，用于保护和运输裸模，CSP，光电子和其他微电子设备。
化学反应
作为先进特种材料和输送系统的供应商，我们有专业知识来制定和输送您所需的化学品，以使您的工艺和实现您的性能目标。
流体管理系统
我们提供完整的系统解决方案，以建立一个完整的、无泄漏的、可靠的流体处理网络，从散装化学品分配到使用点。
气体过滤净化
从空气或工艺气流中去除不需要的气体分子对于减少工艺污染至关重要。我们的过滤器和扩散器套件旨在保护房间和工艺免受污染物的侵害。
硬盘部件处理
可靠的硬盘组件处理解决方案，安全高效地运输关键材料。
液体过滤净化
我们能力的核心是先进的科学知识和制造技巧，以提供当今最好的液体过滤和净化解决方案。
掩模和光栅处理
正确处理重要工艺技术对工艺性能至关重要。我们的吊舱、包装和系统提供顶级的保护，防止损坏和污染。
其他基材处理
我们的晶圆盒和卡盒旨在为您宝贵的基板提供终极保护，使其在日常运输活动中免受损坏和污染。
特种材料
优质石墨，碳化硅和涂层解决方案，适用于当今苛刻的高科技应用。
特种气体
我们是为各种制造过程提供安全储存和输送剧毒气体的领导者。
晶片处理
创新的晶圆运输和加工解决方案，为有价值的晶圆提供出色的保护。