美国ENTEGRIS英特格Wafergard®GT过滤器，JPMFJK001
美国ENTEGRIS英特格Wafergard®GT过滤器，JPMFJK001
美国ENTEGRIS英特格Wafergard®GT过滤器，JPMFJK001
Wafergard
GT-プラス インライン ガスフィルター
Wafergard GT-Plus (ウェハーガード GT-プラス) インライン ガスフィルターは、推奨流量30 L/min の効率的で低コストな不活性ガス用ガスフィルターです。
効率的かつ低コストな不活性ガス用フィルター
コンパクトなオールフッ素樹脂製フィルター
アプリケーションWafergard®GT-プラス インライン ガスフィルター アプリケーション
-
低吸気量フィルター
-
ウェーハ搬送システム
-
クリーンドライエア (CDA)
仕様書
性能データ
製品の仕様
| メンブレン |
PTFE |
| サポート/ハウジング |
PFA |
| 推奨流量 |
30 L/min @ 20°C, 101 kPa |
| 接続 |
3.18 mm (1/8") または 6.35 mm (1/4") コンプレッションシール |
| 寸法 |
面間: |
3.18 mm (1/8") 接続: 69 mm |
| 6.35 mm (1/4") 接続: 71.5 mm |
| 胴径 |
24 mm (最大) |
| 最高使用圧力 |
0.41 MPa |
| 最大許容正差圧 |
0.34 MPa |
| 最大許容逆差圧 |
0.034 MPa |
| 最高使用温度 |
50°C |
| 膜面積 |
12 cm2 |
| 除粒子径 |
0.0015 μm |
型番継手サイズとタイプ長さ選択オプション
WGFG01KP03.18 mm (1/8")コンプレッションシール69.0 mm (2.7")10個入りフィルター
WGFG01KP33.18 mm (1/8")コンプレッションシール69.0 mm (2.7")3個入りフィルター
WGFG21KP06.35 mm (1/4")コンプレッションシール71.5 mm (2.8")10個入りフィルター
WGFG21KP36.35 mm (1/4")コンプレッションシール71.5 mm (2.8")3個入りフィルター